クリーンルーム測定、調整 | 気流・静圧・パーテクルカウンター|有限会社ユネット
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論文集  
  テツアド出版社: 
  月刊リフォーム寄稿論文


月刊リフォーム5月排水設備の
リニューアル要素技術

月刊リフォーム12月埋設管漏水探査
月刊リフォーム11月マンションの改修に
失敗しない為には…
月刊リフォーム3月コンクリート
中性化深度測定調査
月刊リフォーム9月給排水管の
リニューアルを考える

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 清浄度、クリーンルーム測定・調整

   ユネットは清浄度測定を行う会社です
    こちらは空調、換気試運転測定・調整、評価、定期測定についてのページです


 クリーンルームシステムの試運転や、正常な運転・保守管理においてはこれら測定・調整が重要で、特に最初の試運転調整、
 定期的な測定、調整などの保守管理には欠かせない要素です。

  (1)風量測定・調整
  給気量、排気量、HEPAフィルターの循環量、差圧ダンパー風量

  (2)清浄度測定
  パーティクルカウンターによる測定、清浄度クラス検証100〜10,000

  (3)静圧測定・調整
  微差圧計による測定、調整、気流方向の確認、排気量微差圧の調整
 (一般室内同様に空調・換気・排気量、さらには差圧ダンパーからの風量を測定・調整します)

 空調システム・静圧・気流と清浄度の関係を理解し、調整・測定できる、数少ない会社の一つがユネットです。
 風量測定・調整は高所での作業も簡単に安全に行います。
 また、場合によっては測定筒を用いて、より正確な風量を測ります。  ※ 写真はそれぞれクリックすると画像拡大、動画再生します

広い部屋も
 

高所でも
 

伸張棒を使った測定映像【動画】
 

測定筒での風量測定【動画】
 

空調機、HEPAフィルターを通った
給気量測定

HEPAフィルターや主要部品の設置後
 

HEPAフィルターに空調機から風を
 

調整作業中

クリーンルーム測定のよくある質問と答え(FAQ)はこちらです。(ページ下にジャンプします)

(1)風量測定・調整
  • 10秒間の測定平均を瞬時に計算する計測器の採用
  • 伸張棒を使用し、2〜6mの高所でも足場無しで作業できる治具の採用
  • 大規模建物や大規模空間における単一型制気口(吹出口、吸込口)での測定筒採用(参考:作業映像
風量測定・調整

調整:試運転調整で培った経験とノウハウがあります。
     とは言っても気流と静圧を常にチェックしながらバランスさせるのは至難の業です。
     ですから調整には測定の数倍の時間がかかります。

 クリーンルームといっても単一のシステムとは限りません。
 クラス10,000から1,000そして100と順次シビアになっていく場合は、クラス間の差圧、気流は最も気を遣うポイントです。

 ユネットでは調整後の温度、湿度、清浄度、気流の確認、差圧測定などもまとめて行い、
 定期的な測定やチェックも行っています。

 巨額の投資をしたクリーンルームですが、一度稼働するとほったらかしのところがかなりあります。
 この機会にせめて清浄度、気流、差圧を確認してはいかがでしょうか。
 品質の向上、衛生管理、検査精度の向上、雑菌繁殖の防止、思わぬ外部からの埃・細菌の侵入から守ってくれます。


(2)清浄度測定
 クリーンルームはHEPAフィルターと呼ばれる高性能フィルターを通した清浄な空気が循環することで
室内の清浄度を上げていきます。設計値どおりの清浄度が得られないと製品品質が上がらず、
多大な損失や重大な支障を及ぼす事にもなりかねません。
常に計測、監視する必要が有ります。

 測定にはパーティクルカウンターと呼ばれるレーザー光線を利用したゴミ・埃の微細粒子を
粒径とともに個数を計る計測器を使用します。
下表(参考資料)のクラス分類にあるように0.1マイクロメータの粒径から0.2、0.3、0.6マイクロメータの
粒径まで、クラス上限値をこえない個数であることが確認されればそのクラスは達成したといえます。

測定自体はそう難しいものではありません。
また、クリーン度を上げるのもHEPAフィルターなどの管理をまめに行い、循環量が適正で有れば
クリアーできるものです。

測定機器もピンからキリまで有り、クラスにあった機材を選択する必要があります。
外乱を最小に抑える繊細な気遣いと忍耐が必要な測定作業です。
 
 

パーティクルカウンターの画面例 

実験室や試薬調合室などの測定例

実験室にて(ぼかしてあります)

パーティクルカウンターによる測定、清浄度クラスの検証
 今までの測定では、設計値のクリーン度に達しない例はほとんどありません。清浄度が下がる原因の多くは気流の逆転、
ホコリ発生源の存在です。ですから、気流が正常で室内に誰もいなくて機械も稼働していなければ、まずクリーン度は保てます。
それで駄目な場合はフィルターの機能低下を疑って下さい。

 測定機器はISO規格に沿って毎年調整、校正されたモノしか使用しません。
清浄度クラスにより各種有り、簡易的なものではハンディタイプもあります。
プリンター付では自動的に何分か毎の測定値を記録してくれます。

測定中は室内への出入りやイレギュラーな動作、機器の稼働は控えて下さい。正確な測定ができません。
もっとも、それが通常の運転状態で、その状態を測定するというものも可能です。


(3)静圧、気流測定・調整
静圧:
微差圧計による測定、調整ではクリーンルームと隣接する室との静圧関係、気流の状態に着目し、
測定、調整します。
また、フィルターを通った風のクリーン度のみならず、気流と静圧に着目し、微差圧計を使用して
クリーンルームの正常な静圧、気流の状態を確認し調整します。
差圧ダンパーの動きも調整の重要な指標です。

気流: 気流と静圧は密接な関係にあります。
気流の状態に着目し、測定、調整しますが、どのダンパーを調整すればどうなるか、経験がモノを言います。
闇雲に増減しては空調、換気にも影響してきます。
そしてクリーン度がいくつもに別れている場合は連動して、収拾のつかない事になります。


静圧・差圧・風量の調整までできるのが当社の大きな特長です。
複雑な制御を理解でき、また柔軟な対応力、迅速な行動力がなければ下の写真のように、
1から2パスカル(0.1〜0.2mmAq)の差圧を測定したり調整することはできません。
しかも数百平方メートルのクリーンルームも下の例では、僅か2日で調整しています。
※ この話はメールマガジン13号14号でも紹介したことがあります。

差圧ダンバー越しに隣室との差圧を測定し調整すると・・・

   ・・・2Pa!

別の清浄度クラスでも同様に行います
 

こちらは1Pa=0.1mm水柱です
 

微差圧計による測定、調整、気流方向の確認、微差圧の調整
 微差圧の測定は微差圧計を用い、0から100Pa、0から1,000Pa等のレンジで測ります。
室どうしと隣室大気(外気)を測る場合があります。微差圧の測定とともに気流の方向も大切です。
折角のクリーンルームに汚れた外気や隣室の空気が流れ込まないような調整が必要です。

 微差圧の調整はいろんな要素が絡みかなり複雑な場合があります。
外気取り入れ、空調、HEPAフィルターからの給気、排気システムなどを頭に入れながら
迅速な調整を必要とします。(メールマガジン13号14号参照)


 クリーンルーム測定・調整のよくある質問(FAQ)
クリーンルームの何を測定調整してくれるの?
 ・測定は室内の清浄度、制気口での風量、室内外の静圧、温湿度、風向などです。
 ・調整は風量と静圧バランスです。

費用はいくら掛かるの?
 ・測定箇所数、頻度、場所(市町村)により見積もりします。
  清浄度ではクラスを指定して下さい。それによって使用する計測器が違います。
 ・一般的な測定では、都内、近郊で2人が計測器と共に測定し報告書を作成した場合14万円程度です。
  もちろん測定点数・回数により金額は変わります。

※ クラス100から10,000程度のクリーンルームが対象です。
  大規模(数十のクリーンルームが並ぶ大工場)クリーンルーム測定・調整には向きません。

 (参考:ユネット主任 静圧調整を語る by YouTube・動画で分かりやすく説明します)


クリーンルームの風量測定・風量調整って?
  一般の空調、換気設備とどう違うのかといわれるとあまり変わりはありませんが、単なる風量測定は意味がありません。
  まずは隣室との静圧関係が正常か、ちゃんと差圧は取れているかをチェックした後に風量測定を行います。
  ですから、調整も含むとなると静圧・気流も同時にチェックする必要があります。
  もちろん静圧、気流は正常なので風量測定のみといった依頼はお受けします。
  一般の測定との違いを強いて言うなら以下のような点が挙げられます。

■ HEPA(高性能フィルター)吹き出しからの測定は2、3のやり方があります。測定前に十分な打ち合わせが必要です。
特にパンチングプレートといって5mmφほどの穴から吹き出す風量はその測定の仕方で認められたりされなかったりします。

■ 差圧ダンパーでの風量測定は微妙です。できれば測定筒をかぶせて測る方が正確です。

■ 風量調整は空調機のダンパーやダクト系統、制気口直前のシャッターで行う場合があります。
いずれにしろ調整後には再度測定して検証する必要があります。
測定→調整→再測定→再調整を繰り返し最適風量にしますが、風量の設計値に対する許容量で
(例えば+20%から-10%以内にする)作業の難易度は変わります。

しかしはじめから設計風量以上の風量がでない送風機の場合はそれらを満足させることはできません。
全体を-10%以内に抑えるといったことしかできません。
  • 10秒間の測定平均を瞬時に計算する計測器の採用
  • 伸張棒を使用し、2mから8mの高所でも足場無しで作業できる治具の採用
  • 制気口(吹出口、吸込口)での測定筒採用による作業の効率化


 料金について
  見積依頼はこちらをクリックしてください。(問い合わせフォームが開きます)

  項 目   価 格
基 本 料 金 ¥68,000 (測定5箇所・報告書含む)
機 器 損 料 ¥40,000
測 定 料 金 @¥5,000
   見積例:(平日昼間・報告書含む)
20箇所測定 ¥68,000 + 40,000 + (5000×15) = 183,000 + 消費税


 参考資料
参考資料1/クラス分類
参考資料2 参考資料3
クリックでパンフレットの中身が見られます。

 クリーンルーム測定について(PDF)
   電子書類(PDFデータ)をダウンロードできます。

PDF
クリーンルーム測定について




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