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ここではよくある質問の中から代表的なものを取り上げ、皆様の疑問に答えていきます。
■ クリーンルームの何を測定調整してくれるの?
・測定は室内の清浄度、制気口での風量、室内外の静圧、温湿度、風向などです。
・調整は風量と静圧バランスです。
■ 費用はいくら掛かるの?(この質問が一番多いです)
・測定箇所数、頻度、場所(市町村)により見積もりします。
また清浄度ではクラスを指定して下さい。それによって使用する計測器が違います。
・一般的な測定では、都内、近郊で2人が計測器と共に測定し報告書を作成した場合14万円〜程度です。
もちろん測定点数、回数により金額は上がります。
※ クラス100〜10,000程度のクリーンルームが対象です。
大規模(数十のクリーンルームが並ぶ大工場)クリーンルーム測定・調整には向きません。
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風量測定・調整について
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一般の空調、換気設備とどう違うのかといわれると、あまり変わりはありませんが、強いて言うなら、 以下のような点が挙げられます。
■ 単なる風量測定は意味がありません。まずは隣室との静圧関係が正常か、ちゃんと差圧は取れているかをチェックした後に風量測定を行います。ですから調整も含むとなると静圧、気流も同時にチェックする必要があります。もちろん静圧、気流は正常なので風量測定のみといった依頼はお受けします。
■ HEPA(高性能フィルター)吹き出しからの測定は2、3のやり方があります。測定前に十分な打ち合わせが必要です。特にパンチングプレートといって5mmφほどの穴から吹き出す風量はその測定の仕方で認められたりされなかったりします。
■ 差圧ダンパーでの風量測定は微妙です。
できれば測定筒をかぶせて測る方が正確です。
■ 風量調整は空調機のダンパーやダクト系統、制気口直前のシャッターで行う場合があります。いずれにしろ調整後には再度測定して検証する必要があります。測定→調整→再測定→再調整を繰り返し最適風量にしますが、風量の設計値に対する許容量で(例えば+20%から-10%以内にする)作業の難易度は変わります。
■ しかしはじめから設計風量以上の風量がでない送風機の場合はそれらを満足させることはできません。全体を-10%以内に抑えるといったことしかできません。
◆ 10秒間の測定平均を瞬時に計算する計測器の採用
◆ 伸張棒を使用し、2〜8mの高所でも足場無しで作業できる 治具の採用
◆ 制気口(吹出口、吸込口)での測定筒採用による作業の効率化
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清浄度測定について
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パーティクルカウンターによる測定、清浄度クラスの検証
■ 今までの測定では、設計値のクリーン度に達しない例はほとんどありません。清浄度が下がる原因の多くは気流の逆転、ホコリ発生源の存在です。ですから気流が正常で室内に誰もいなくて機械も稼働していなければ、まずクリーン度は保てます。それで駄目な場合はフィルターの機能低下を疑って下さい。
■ 測定機器はISO規格に沿って毎年調整、校正されたモノしか使用しません。清浄度クラスにより各種有り、簡易的なものではハンディタイプもあります。プリンター付では自動的に何分か毎の測定値を記録してくれます。
■ 測定中の室内への出入りや、イレギュラーな動作、機器の稼働は控えて下さい。 正確な測定ができません。 もっともそれが通常の運転状態で、その状態を測定するというものも可能です。
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静圧、気流測定・調整について
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微差圧計による測定、調整、気流方向の確認、微差圧の調整
■ 微差圧の測定は微差圧計を用い、0〜100Pa、0〜1,000Pa等のレンジで測ります。 隣室どうしと隣室フ大気(外気)を測る場合があります。
■ 微差圧の測定とともに気流の方向も大切です。 折角のクリーンルームに汚れた外気や隣室の空気が流れ込まないような調整が必要です。
■ 微差圧の調整はいろんな要素が絡みかなり複雑な場合があります。外気取り入れ、空調、HEPAフィルターからの給気、排気システムなどを頭に入れながら迅速な調整を必要とします。
(メールマガジン13号、14号参照)

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